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集成电路制造工艺员

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真空镀膜室内，在蒸发源加热器与衬底加热器之间装有活动挡板，用来（）。

  • A、隔挡气体交换
  • B、控制蒸发的过程
  • C、辅助热量交换
  • D、温度调节
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