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工程与技术科学
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工程与技术科学
光刻加工的工艺过程为（）
A、①氧化②沉积③曝光④显影⑤还原⑦清洗
B、①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦扩散
C、①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦还原
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