硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（）

• A、体刻蚀加工对基体材料进行加工，而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工
• B、体刻蚀加工不对基体材料进行加工，而面刻蚀加工对衬底材料进行加工
• C、体刻蚀加工可获得高纵横比的结构，而面刻蚀加工只能获得较低纵横比的结构