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能源科学技术
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能源科学技术
下列方程式中属于二氧化硅刻蚀工艺的是（）。
A、4HF+Si=SiF
4
+2H
2
↑
B、CF
4
+SiO
2
——→SiF
4
+CO
2
↑
C、CF
4
+SiO
2
+O
2
——→SiF
4
+CO
2
↑
D、SiO
2
+4HF——→SiF
4
+2H
2
O
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