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集成电路制造工艺员

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当注入剂量增加到某个值时，损伤量不再增加，趋于饱和。开始饱和的注入剂量称为（）。

  • A、临界剂量
  • B、饱和剂量
  • C、无损伤剂量
  • D、零点剂量
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