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集成电路制造工艺员

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微电子领域内，下列测厚仪中属于有台阶的测厚仪为（）。

  • A、台阶仪
  • B、干涉显微镜
  • C、光切显微镜
  • D、扫描电镜
  • E、椭偏仪
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