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集成电路制造工艺员

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下列几种氧化方法相比，哪种方法制得的二氧化硅薄膜的电阻率会高些（）。

  • A、干氧氧化
  • B、湿氧氧化
  • C、水汽氧化
  • D、与氧化方法无关
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