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集成电路制造工艺员

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二氧化硅膜的质量要求有（）。

  • A、薄膜表面无斑点
  • B、薄膜中的带电离子含量符合要求
  • C、薄膜表面无针孔
  • D、薄膜的厚度达到规定指标
  • E、薄膜厚度均匀，结构致密
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