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集成电路制造工艺员
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集成电路制造工艺员
()就是用功率密度很高的激光束照射半导体表面,使其中离子注入层在极短的时间内达到高温,消除损伤。
A、热退火
B、激光退火
C、连续激光退火
D、脉冲激光退火
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