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集成电路制造工艺员
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集成电路制造工艺员
干氧氧化法有一些优点,但同时它的缺点有()。
A、生长出的二氧化硅中引入很多可动离子
B、氧化的速度慢
C、生长的二氧化硅缺陷多
D、生长的二氧化硅薄膜钝化效果差
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