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集成电路制造工艺员
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集成电路制造工艺员
二氧化硅生长过程中,当分凝系数小于1时,会使二氧化硅-硅界面处硅一侧的杂质浓度()。
A、降低
B、增加
C、不变
D、先降低后增加
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