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集成电路制造工艺员

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二氧化硅薄膜厚度的测量方法有（）。

  • A、比色法
  • B、双光干涉法
  • C、椭圆偏振光法
  • D、腐蚀法
  • E、电容-电压法
正确答案:A,B,C,D,E
答案解析:有
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