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集成电路制造工艺员

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（）由钟罩、蒸气源加热器、衬底加热器、活动挡板和底盘构成。

  • A、真空镀膜机
  • B、真空镀膜室
  • C、真空镀膜器
  • D、真空镀膜仪
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